空气干燥机的空气干燥装置

本发明是关于一种空气干燥机的空气干燥装置，本发明是使用加压／泄压循环装置，以使装满干燥剂的第一管体于加压，产生一段时间的干燥空气后，可使干燥空气输出供晶圆厂放置晶圆的密闭柜使用，泄压以使连通二装满干燥剂的管体的阀于关闭先前加压第二管体内部空间，再打开另一装满干燥剂的第二管体进行加压，并可使干燥空气输出供晶圆厂放置晶圆的密闭柜使用，当泄压的空间经单向阀的旁通路变成与第一管体内部空间压力相等，当第二管体内部空间于泄压后，再使第一管体加压，经由第一、第二管体不断交替使用，可以将干燥空气不断输送至放置晶圆的密闭柜而使用，可达到零件少与成本低的目的。