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基板的吸引保持方法及使用该方法的吸引保持输送机

申请号/专利号： 02824681
吸引保持输送机，利用吸引并保持载置于工作台上的基板（１）的吸引固定部件（６９），对载置于工作台（８４）上的基板（１）进行吸引、固定。支持部件（６１），用于支持该吸引固定部件。该吸引保持输送机具有距离调节机构（８２），可在吸引固定部件（６９）上的多个部位单独地调节从上述工作台表面至吸引固定部件的距离。
申请日： 2002年12月11日
公开日： 2005年03月30日
授权公告日： 2007年09月05日
申请人/专利权人： 三星钻石工业股份有限公司
申请人地址： 日本大阪府
发明设计人： 船田秀明;吉村浩昭
专利代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
代理人： 廖凌玲 杨松龄
专利类型： 发明专利
分类号：
B25J15/06;H01L21/677
标签：输送机    基板的吸引保持方法及使用该方法的吸引保持输送机
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