基板输送机

本发明涉及一种基板输送机，具备：移动工作台（３２），其在水平方向可移动地配置在基座（１４）上，且在一侧交接基板（Ｇ）时位于一侧；支承装置（Ｓ），其配置在移动工作台（３２）上，且具有用于在水平方向可移动地支承基板（Ｇ）的支承区域；移动装置（Ｔ），其用于在一侧交接基板（Ｇ），并横穿一侧的支承区域的前端而使支承区域上的基板（Ｇ）在水平方向上移动；立设在基座（１４）上的支柱（１６）；手部（Ｈ），其在相反侧交接基板（Ｇ），且在与支承装置（Ｓ）之间交接输送过程的基板（Ｇ），在水平方向可移动并从上下方向看横穿支承区域且可升降地安装于支柱（１６）上，支承区域在一侧具有从移动工作台（３２）露出的延出部。