晶片输送机台

本发明有关于一种晶片输送机台，其主要包括有一第一输送单元、一第二输送单元、一漂浮式输送单元及至少一引导单元，其中漂浮式输送单元设置在第一输送单元及第二输送单元之间，并用以将晶片由第一输送单元传送至第二输送单元，引导单元设置在漂浮式输送单元的侧边，并用以对漂浮式输送单元上的晶片进行导正，使得通过漂浮式输送单元的晶片被引导至第二输送单元的固定或邻近区域，此设置在第二输送单元上的检测单元将可以对晶片的相似区域进行量测。