含钼和铝的组件以及在成形靶/背衬板组件中使用中间层的方法

本发明包括一种具有物理气相沉积靶（１０２）的组件（１３０），其通过层（１０４）与背衬板（１２０）分开，该层主要由钼和钽中的一种或两种构成。本发明还包括一种组件，该组件包括一至少含铝９９．９％的背衬板，该铝背衬板通过具有至少约６０００镑／平方英寸（ｐｓｉ）的强度的结合被结合到至少含钼９９．９％的靶上。此外，本发明包括一种将含钨的材料结合到含铝的材料上的方法。在含钨的材料（１０２）和含铝的材料（１２０）之间设有一层含钼的材料（１０４），并且含钼的材料被结合到含钨的材料（１０２）和含铝的材料（１２０）上。