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用于基板沉积腔背衬板的多件式绝缘件

申请号/专利号： 200520002795
一种用于基板沉积腔背衬板之多件式绝缘件，其具有：数个绝缘片条，每一绝缘片条具有一第一端及第二端；及每一绝缘片条的第一端与一相邻绝缘片条的第二端相配合且被接合至该相邻绝缘片条的第二端，以共同构成一矩形框件。
申请日： 2005年03月18日
公开日：
授权公告日： 2006年05月17日
申请人/专利权人： 应用材料股份有限公司
申请人地址： 美国加利福尼亚州
发明设计人： W・N・斯特林
专利代理机构： 上海专利商标事务所
代理人： 陈亮
专利类型： 实用新型专利
分类号：
C23C16/00;C23C16/513
标签：衬板    用于基板沉积腔背衬板的多件式绝缘件
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