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连接磁性靶和背衬板的方法以及磁性靶

申请号/专利号： 02825748
本发明提供一种将板厚度变化较小的磁性物质靶连接到背衬板的方法，其特征在于具有以下步骤：事先连接磁性物质靶和铝板，并保持平坦性，将连接到铝板的磁性物质靶连接到背衬板上，并保持平坦性，研磨除去铝板，从而可以保持磁性物质靶的平坦性，直到磁性物质靶通过一个相对简单的操作连接到背衬板上。
申请日： 2002年11月14日
公开日： 2005年04月13日
授权公告日：
申请人/专利权人： 株式会社日矿材料
申请人地址： 日本东京
发明设计人： 山越康广
专利代理机构： 中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人： 樊卫民 杨青
专利类型： 发明专利
分类号：
C23C14/34
标签：衬板    连接磁性靶和背衬板的方法以及磁性靶
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