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溅射靶/背衬板接合体

申请号/专利号： 200780024383
一种溅射靶／背衬板组件，其特征在于，在溅射靶／铜－锌合金制背衬板接合体中，具有在靶中央部的背衬板位置处嵌入有纯铜的结构。本发明的课题在于，提供一种不使廉价、强度和抗涡流特性优良的铜－锌合金背衬板的特性降低、并且可以充分地应对更大功率化的简便的溅射靶／背衬板结构体。
申请日： 2007年05月02日
公开日： 2009年07月08日
授权公告日：
申请人/专利权人： 日矿金属株式会社
申请人地址： 日本东京都
发明设计人： 小田国博;福岛笃志
专利代理机构： 中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人： 樊卫民 郭国清
专利类型： 发明专利
分类号：
C23C14/34;H01L21/285
标签：衬板    溅射靶/背衬板接合体
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