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物理蒸汽沉积标靶/背衬板组件;以及成形物理蒸汽沉积标靶/背衬板组件的方法

申请号/专利号： 01818120
本发明包括ＰＶＤ标靶／背衬板组件，它包括具有一个表面的ＰＶＤ标靶和在该表面上的粘结层。粘结层具有不同于标靶表面的组成，背衬板被做成与ＰＶＤ标靶表面相隔至少该粘结层。粘结层形成对标靶的牢固扩散粘结。本发明还包括成形ＰＶＤ标靶／背衬板组件的方法。另外，本发明包括一种组件，其中钛、锆和铜中一种或多种被结合到物理蒸汽沉积标靶／背衬板组件中标靶与背衬板之间的粘结层中。
申请日： 2001年10月19日
公开日： 2004年05月05日
授权公告日：
申请人/专利权人： 霍尼韦尔国际公司
申请人地址： 美国新泽西州
发明设计人： R・D・科勒;M・S・库珀
专利代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
代理人： 张元忠 郭广迅
专利类型： 发明专利
分类号：
C23C14/34;H01J37/00
标签：衬板    物理蒸汽沉积标靶/背衬板组件;以及成形物理蒸汽沉积标靶/背衬板组件的方法
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