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溅射靶用背衬板

申请号/专利号： 200510114034
一种溅射靶用背衬板包含在２５℃到１００℃温度下的平均线性膨胀系数为２３．０×１０↑［－６］／℃或以下的铝合金。这种背衬板防止了和靶结合时出现的翘曲，减小了Ａｌ－Ｎｄ合金薄膜的膜沉积（溅射）时出现的应力，省去了翘曲的矫平处理，减小了安置在靶和背衬板之间的硬钎料的破裂，从而能够长期进行稳定的膜沉积操作。
申请日： 2005年10月19日
公开日： 2006年04月26日
授权公告日：
申请人/专利权人： 株式会社钢臂功科研
申请人地址： 日本国兵库县
发明设计人： 茂山和基;森元荣一
专利代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
代理人： 陈平
专利类型： 发明专利
分类号：
C23C14/34
标签：衬板    溅射靶用背衬板
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